超音波による冷媒ガスの高速濃度測定

 現在,冷媒ガス濃度の正確な測定は,様々な分野において必要かつ重要となってきている. 冷媒ガスは,エアコンや冷蔵庫などの冷凍機の他,ダストブロワや断熱材,液晶や半導体製造などの工業プロセスなどにも幅広く利用されている.しかし,従来の冷媒ガスの多くは,オゾン層破壊や地球温暖化へ影響を及ぼすことが知られており,大気中に放出することが禁止されている.これら冷凍機の冷媒ガス濃度が経年変化等で減少すると,冷凍機の機能・性能に影響を与える.よって,ガス濃度測定を迅速かつ容易に,またガスを大気中に放出せずに外部より測 定することが求められている.

 ガス濃度測定には多くの方法が存在しており,ガス濃度計は,標準ガスで校正される.標準ガスの検証には,質量比混合 1),ガスクロマトグラフィなどの質量分析, 赤外吸収やイオン化検出器2)などが用いられる 3).一方,従来の携帯型ガスセンサは,固体電解質 4),接触燃焼 5),半導体 6)などの各種検出方式を採用している.これらの方法のほとんどは,ガスの抽出と吸着を 必要とし, 応答速度も数秒単位と遅い.

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Author: castage

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